195251, Санкт-Петербург,
Политехническая ул., 29, НИК, к. В.3.17
+7 (812) 552-6216 (с 10 до 17.30 )
infocom@spbstu.ru

Многофункциональные тепловые МЭМC-датчики

Опубликовано в разделе «SEMICON Россия 2014»

Издание: Выпуск 5(205)/2014

Аннотация

Представлены результаты работ лаборатории нано- и микросистемной техники СПбГПУ по созданию и исследованию тепловых МЭМС-датчиков различного функционального назначения. Датчики реализованы на основе разработанного базового МЭМС-преобразователя и технологии его изготовления.