Технологии и разработки лаборатории НМСТ

SEMICON Россия 2014
Авторы:
Аннотация:

Представлены результаты работ лаборатории нано- и микросистемной техники СПбГПУ в области разработки технологий и МЭМС-преобразователей различного назначения.